차세대 노광 기술을 적용한 경우에 노광 공정에 있어서의 감도나 해상도 등에 있어서 우수한 성능을 갖는 레지스트 패턴의 형성 방법 및 감방사선성 수지 조성물을 제공한다.(C) 감방사선성 산 발생제의 함유량이 0.1질량％ 이하인 레지스트막을 형성하는 공정 (1), 상기 레지스트막을 EUV, 또는 전자선(EB) 노광하는 공정 (2), 및 상기 공정 (2)에서 노광된 레지스트막을 현상하는 공정 (3)을 포함하는, 레지스트 패턴의 형성 방법.

• 출원번호 : 10-2024-7040554
• 출원인 : 제이에스알 가부시끼가이샤
• 특허번호 :
• IPC : G03F-007/004;C08F-212/14;C08F-220/10;G03F-007/038;G03F-007/039;G03F-007/20;

개시된 주제의 구체예는 발광층을 포함하는 하나 이상의 유기층, 하나 이상의 유기층 상에 배치된 제1 전극층, 제1 전극층의 일부로서 형성된 복수의 나노구조체, 기판 및 제2 전극층을 포함하는 디바이스로서, 제2 전극층은 기판 상에 배치되고, 하나 이상의 유기층은 제2 전극층 상에 배치되고, 복수의 나노구조체를 포함하는 제1 전극층은 하나 이상의 유기층 상에 그리고 발광층의 소정의 임계 거리 이내에 배치되는 디바이스를 제공한다.

• 출원번호 : 10-2024-0175449
• 출원인 : 유니버셜 디스플레이 코포레이션
• 특허번호 :
• IPC : H10K-050/805;H10K-102/00;

본 출원은 방사선 치료의 적어도 하나의 선량 및 적어도 하나의 PD-1 및/또는 PD-L1 길항제를 투여하는 단계를 포함하는, 환자에서의 암 치료 방법을 제공하며, 여기서 적어도 하나의 PD-1 및/또는 PD-L1 길항제는 방사선 치료 선량투여와 동일한 날 또는 이후 최대 4일까지를 포함해서 투여된다.

• 출원번호 : 10-2024-7037128
• 출원인 : 메디뮨 리미티드
• 특허번호 :
• IPC : A61K-039/395;A61K-039/00;A61N-005/10;A61P-035/00;A61P-035/02;C07K-016/28;

본 발명에 따른 피시험 반도체 소자의 내방사선 평가 방법은, 피시험 반도체 소자를 중이온 장비에 제공하여 베이스 구간의 선형에너지전달(LET, linear energy transfer) 값에 따른 상기 피시험 반도체 소자의 단면적(cross section, σ) 값을 측정하는 단계, 상기 피시험 반도체 소자를 펄스 레이저 장비에 제공하고, 레이저 에너지 값에 따른 상기 피시험 반도체 소자의 단면적 값을 측정하는 단계, 및 상기 펄스 레이저 장비에 제공된 상기 레이저 에너지 값을 상기 선형에너지전달 값으로 변환시켜, 상기 베이스 구간을 제외한 나머지 구간의 선형에너지전달 값에 따른 상기 피시험 반도체 소자의 단면적 값을 유추하는 단계를 포함할 수 있다.

• 출원번호 : 10-2024-0151268
• 출원인 : 큐알티 주식회사
• 특허번호 : 10-2748332-0000
• IPC : G01R-031/311;G01R-031/00;H01S-003/00;

본 발명은 적어도 다음의 층 시퀀스(layer sequence)를 포함하는 다층 테이프에 관한 것이다: (a1) 발포제-함유 접착제 층; (b1) 레이저-반투명 접착제 층; (c) 금속, 금속 옥사이드, 카본 블랙 및 방사선-경화성 래커(radiation-curable lacquer)로 구성된 군으로부터 선택된 레이저-민감성 물질을 포함하는 레이저-디본딩가능 층(laser-debondable layer); 및 (b2) 레이저-반투명 접착제 층을 포함한다. 또한, 본 발명은 상기 다층 테이프를 디본딩하기 위한 공정에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 전자 디바이스, 자동차 디바이스, 의료 디바이스 및 치과 디바이스에서의 상기 다층 테이프의 용도에 관한 것이다.

• 출원번호 : 10-2024-7036117
• 출원인 : 테사 소시에타스 유로파에아
• 특허번호 :
• IPC : C09J-007/38;C08K-003/04;C08K-003/08;C08K-003/22;C09J-011/04;C09J-005/00;C09J-007/10;C09J-007/35;

무선 통신 네트워크에서 동작하도록 구성된 장치는 통신 파트너와 통신하기 위한 안테나 방사 패턴을 형성하도록 구성된다. 상기 안테나 방사 패턴은 메인 로브, 적어도 하나의 사이드로브 및 상기 메인 로브와 상기 사이드로브 사이의 널을 포함한다. 상기 장치는 상기 메인 로브를 상기 통신 파트너에 대한 경로 쪽으로 조절하고, 상기 사이드로브 및/또는 상기 널을 추가 장치의 위치에서의 간섭을 처리하기 위해 조절하도록 구성된다.

• 출원번호 : 10-2024-7035895
• 출원인 : 코닌클리케 필립스 엔.브이.
• 특허번호 :
• IPC : H04B-007/06;H01Q-003/26;H04B-017/345;H04B-007/0426;H04B-007/0456;H04B-007/08;H04W-024/08;H04W-004/40;H04W-084/06;

도파관을 포함하는 광대역 광원의 출력 편광을 제어하도록 구성된 편광 제어 시스템 및 방법이 개시된다. 편광 제어 시스템은: 측정 데이터를 생성하기 위해 상기 광대역 광원으로부터 방출되는 방사선의 하나 이상의 파라미터를 측정하도록 구성된 적어도 하나의 검출 유닛; 및 상기 측정 데이터로부터, 상기 광대역 광원으로부터 방출되는 상기 방사선의 편광 특성을 유추하도록 구성된 처리 유닛을 포함한다. 상기 평가에 기초하여, 상기 편광 제어 시스템은 상기 광대역 광원의 펌프 편광 상태들의 최적화를 위한 제어 신호를 생성하도록 구성된다. 상기 펌프 편광 상태들은 광결정 섬유의 섬유 축에 대한 펌프 레이저 빔의 결합과 관련된다.

• 출원번호 : 10-2024-7033739
• 출원인 : 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.;에이에스엠엘 홀딩 엔.브이.;
• 특허번호 :
• IPC : G02B-006/42;G01B-011/27;G01J-001/04;G01J-001/42;G01M-011/00;G02B-001/00;G02B-006/02;G02F-001/365;G03F-007/00;H01S-003/00;

본 발명 개념은 엑스레이 소스에 관한 것으로, 유동축을 따라 이동하는 액체 타깃을 제공하도록 구성된 액체 타깃 소스; 전자빔을 제공하도록 구성된 전자 소스; 및 유동축에 대하여 비 원형 단면을 포함하도록 액체 타깃을 형성하도록 구성된 액체 타깃 셰이퍼 ― 비 원형 단면은 제1 축을 따르는 제1 폭 및 제2 축을 따르는 제2 폭을 가지며, 제1 폭은 제2 폭보다 짧고, 액체 타깃은 제1 축에 의해 교차되는 충격 부분을 포함함 ―를 포함하고, 엑스레이 소스는 전자빔이 엑스레이 방사선을 생성하기 위해 충격 부분 내에서 액체 타깃과 상호작용하도록 전자빔을 충격 부분을 향해 지향시키도록 구성된다.

• 출원번호 : 10-2024-7032952
• 출원인 : 엑실룸 에이비
• 특허번호 :
• IPC : H01J-035/14;H01J-035/08;H05G-002/00;

Organotin clusters are described with the formula R3Sn3(O2CR′)5−x(OH)2+x(μ3-O) with 0≤x2; R=branched or cycloalkyl with 1 to 31 carbon atoms; R′=H or alkyl with 1 to 20 carbon atoms. Three carboxylato ligands are bridging, and two OH ligands are bridging. The remaining two carboxylato ligands are in non-bridging configurations, and the non-bridging carboxylato ligands are exchangeable in solution. Solutions of these clusters are suitable for forming radiation sensitive coatings that can be used to pattern nanometer scale structures. The radiation sensitive coatings are particularly suitable for EUV patterning.

• 출원번호 : 18895654
• 출원인 : Cardineau, Brian J.
• 특허번호 :
• IPC : C07F-007/22(2006.01);G03F-007/004(2006.01);G03F-007/20(2006.01);G03F-007/32(2006.01);

Image intensifier systems incorporating a microchannel plate (MCP) and methods for producing the same are disclosed. In some examples, a device is disclosed that includes a first substrate having a radiation-receiving first surface and an opposed second surface through which electromagnetic radiation is transmitted. A second substrate is coupled to the first substrate to define a vacuum cavity therebetween. An electron-emitting photocathode is disposed within the vacuum cavity for generating electrons from electromagnetic radiation transmitted through the second surface. A microchannel plate is disposed within the vacuum cavity and defines microchannels extending from an input end to an output end. Each of the microchannels is configured to generate electrons in response to an electron generated by the photocathode being received through the input end of the respective microchannel. A phosphorescent layer also is disposed within the vacuum cavity and adjacent the output ends of the microchannels of the microchannel plate.

• 출원번호 : 18894275
• 출원인 : PRALLE, Martin U.
• 특허번호 :
• IPC : H01J-031/50(2006.01)